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《科创板日报》31日讯,研究机构TECHCET日前发布预测,指出ALD/CVD薄膜沉积工艺所必需的前驱体材料市场将持续高速增长,金属前驱体的5年复合年增长率将达到7%,高介电常数(High-K)前驱体为5%,介质前驱体市场为8%。该机构指出,前驱体材料增长受到ALD和CVD工艺新材料日益增长的兴趣和需求的影响,器件生产商不断寻找旨在提高成本和性能的新制造解决方案,而ALD/CVD解决方案处于此类努力的最前沿。此外,六氟化钨WF6供需预计将在2023年保持平衡,但预计WF6的供应到2025年将受到限制,并在2026年面临短缺威胁。
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